CH3IPS, EUV-IUCC 반도체 Weekly News (241015)_반도체 생명수 초순수 국산화 3년 만에 결실...내년 첫 사용 | |
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작성자 : 관리자(ehdrl1987@naver.com)작성일 : 2024-10-15조회수 : 65 | |
CH3IPS, EUV-IUCC 에서 제공하는 한 주간의 최신 뉴스입니다 (10/15)
EUV 관련 최신기술동향 :
[개요] 2024년 9월 진행한 "2024 Photomask technology + EUV lithography"
학회 자료를 정리한 파일은 CH3IPS 및 EUV-IUCC 홈페이지에 Upload 하였습니다.
[내용] 해당 자료는 마스크, 펠리클, CSM, 레지스트+패터닝에 관련된 최신 기술을
위주로 정리되었으므로 자료실을 참고하여 주시기 바랍니다.
EUV & Lithography
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