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EUV Weekly News(04/22)_인텔 High-NA EUV에 DSA·패턴 쉐이핑 기술 적용
작성자 : 관리자(ehdrl1987@naver.com)작성일 : 2024-04-22조회수 : 153

EUV NEWS

EUV-IUCC 에서 제공하는 한 주간의 EUV 최신 뉴스입니다.

‘반도체 슈퍼을’ ASML, 매출 급감… 2분기 EUV 주문도 약세

인텔, ASML 차세대 노광장비 첫 도입…삼성·TSMC와 경쟁 신호탄

인텔, High-NA EUV에 ′DSA·패턴 쉐이핑 기술 적용′

반도체 노광 공정 확산 속 ′EUV 펠리클′ 성장 주목

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