한양대학교 EUV-IUCC

What we offer

EUV-IUCC에서는 EUV 기술 세미나부터 연구 개발 협력까지 회원사에 단계별로 다양한 종류의 혜택을 제공합니다.

a)최신 기술 동향 리포트 및 연구 자료 데이터베이스 제공

b)연구 동향 세미나 및 워크샵을 통한 협업 네트워킹

c)회원사향 맞춤 전략 컨설팅 제공

d)개발 중 제품에 대한 시뮬레이션 서비스

e)해외 파트너 기관의 장비/시설 공유 예약 서비스 제공

f)회원사에 우선 특허 협상권을 보장

g)대학과의 공동 R&D 프로젝트 기회 제공

h)정부 R&D 프로젝트 참여 기회 제공

Membership Categories
멤버십등급	VIP	Diamond	Gold	Silver	Bronze
추천 대상	연구개발 협력사	전략적 파트너	관련기술 개발 기업	관련사업 탐색 기업, 투자사	-
연회비 (부가세 별도)	한도 없음	1천만원	500만원	300만원	-
장비 사용	50% 할인	20% 할인	실비청구	실비청구	-
시뮬레이션 서비스	Target Level	Target Level	Feasibility Study	Introductory Level	-
해외 평가시설 연계 서비스	대행 (현지 비용 청구)	대행 (현지 비용 청구)	대행 (현지 비용 청구)	-	-
최신 기술 동향 리포트	연 6회	연 6회	연 3회	연 3회	-
센터 유료 세미나 할인	무료	무료	50% 할인	30% 할인	-
컨설팅 (1시간 기준)	제한 없음	5회 무료	3회 무료	2회 무료	-
회원사 워크샾 (연 2회)	2인 무료	2인 무료	1인 무료	1인 무료	-
공동개발 사업	산학 혹은 국가사업	산학 혹은 국가사업	산학과제	-	-

※ 골드 회원은 산학 협력 관계를 유지하기 위한 최소한의 전제 조건으로 상호 필요에 따라 추가적인 산학 협력 프로젝트를 요청 가능합니다.
※ 정부 R&D 프로젝트 참여는 최소 다이아몬드 회원 이상만 가능합니다.

장비 사용료
	EUV actinic inspection tool EUV actinic inspection tool				EUV pellicle evaluation equipment 열적 특성 평가 기계적 특성 평가		EUV pellicle fabrication equipment Full-size pellicle 열처리 Si 습식 식각
장비 / 제공 가능 서비스	Pellicle / Mask		Patterned mask		열적 특성 평가	기계적 특성 평가	Full-size pellicle 열처리	Si 습식 식각
장비 / 제공 가능 서비스	EUV 투과도 / 반사도 측정	EUV 투과도 / 반사도 균일도 측정	회절 효율 측정	위상 분석 (Phase shift mask)	열적 특성 평가	기계적 특성 평가	Full-size pellicle 열처리	Si 습식 식각
이용료	1 point / 1 sample 150,000	5 point / 1 sample 500,000	1 point / 1 sample 150,000	1 point / 1 sample 300,000	1 hour 150,000	1hour 80,000	1 time 120,000	1 time 150,000